氦质谱检漏仪的工作原理

今天科仪创新的小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的工作原理，希望对您有所帮助！

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器对其示漏气体氦气有响应信号，而对其他气体没有响应，从而检漏。

检漏仪的优点

1、多种语言和计量单位选择，可选中文界面。

2、135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构。

3、新的电子线路及信号处理设计。

4、小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程。

5、快速清氦和快速响应。

6、测试口耐压高，可实现大漏检漏。

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氦质谱检漏仪的结构和工作原理

　　氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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